机械研发总监(半导体设备) 60-90k·14薪
青岛 10年以上 学历不限 招1人 7月1日更新
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吴女士 6天前在线 已认证
招聘经理 · 江西择达人力资源有限公司
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职位介绍
岗位概述 本岗位面向晶圆制造前道工艺设备(刻蚀、PVD/CVD、ALD、扩散、离子注入、清洗设备等),全面负责设备整机机械系统的技术战略、架构规划、团队管理、整机研发、技术攻关与量产落地。主导超高真空系统、精密晶圆传输、高精度运动机构、高温热场、洁净腔体、气路 / 真空管路等前道核心机械平台技术搭建,带领团队完成新品开发、迭代升级、国产化技术突破,支撑设备稳定通过客户验证与批量量产。 主要工作职责 1. 技术战略与平台化产品规划 跟踪国际前道设备机械架构、工艺迭代、SEMI 标准及晶圆厂量产需求,制定前道设备机械技术路线图、平台化架构规划、中长期预研方向。 负责整机机械方案立项评审、技术可行性评估、风险评估、成本与周期管控,定义设备模块化、通用化机械平台,建立产品技术壁垒。 针对先进制程(28nm/14nm 及以下)工艺要求,牵头超高洁净、超低颗粒、超高真空、微米级高精度、低热变形等核心技术预研与技术储备。 2. 前道设备整机机械研发全流程管理 全面统筹腔体系统、真空系统、精密传输机械手、线性传动平台、高温热场结构、洁净气路、升降对准机构等前道核心机械子系统设计开发。 主导方案设计、结构建模、公差分配、BOM 架构、仿真验证(热变形、振动、流体、应力、颗粒仿真)、样机试制、整机联调、FAT/SAT、客户导入全流程把控。 主导解决前道设备量产核心机械问题:腔体漏率超标、颗粒超标、传输重复定位精度漂移、热场不均、机构干涉、真空稳定性差、长期可靠性衰减等关键瓶颈问题。 推动 DFMEA、DFMA 可制造性、可维护性设计,提升设备稳定性、良率与量产交付能力。 3. 研发体系与技术标准建设 建立前道设备专属机械设计规范、真空 / 洁净 / 精密传动设计标准、零部件选型体系、公差标准、仿真验证规范、安全规范,符合 SEMI S2/S8、晶圆厂 EHS 要求。 完善图纸、计算书、仿真报告、测试标准、变更管理流程,搭建机械研发知识库与技术沉淀体系,规范研发过程质量。 推动核心零部件标准化、国产化替代、结构降本、轻量化、高可靠性迭代优化。 4. 团队管理与人才梯队建设 负责机械研发团队整体管理,包括人员规划、招聘、任务拆解、绩效考核、团队培养、技术赋能。 搭建前道设备机械人才梯队,培养腔体、真空、传输、热场、仿真专项技术骨干,提升团队整机开发与问题攻关能力。 制定部门年度研发计划、预算管理、资源统筹,提升团队研发效率与交付质量。 5. 跨部门协同与客户技术对接 深度协同工艺研发、电气控制、软件算法、射频、光学、量产制造、品质、供应链团队,解决机 - 电 - 热 - 控 - 工艺耦合问题,保障设备工艺指标达标。 主导核心精密零部件供应商技术评审、工艺交底、试制跟进、验收标准制定,搭建稳定高端精密加工供应链。 对接头部晶圆厂客户,参与客户技术评审、问题整改、工艺适配优化,推动设备导入验证、量产放量。 任职要求 学历背景:统招本科及以上,机械工程、精密机械、机电一体化、真空工程等相关专业。 从业经验:8 年以上半导体前道设备机械研发经验,3 年以上研发团队管理经验,熟悉刻蚀、薄膜、扩散、离子注入任意一类前道设备整机开发。 核心能力 精通前道设备真空腔体、超高真空系统、精密晶圆传输、高精度运动机构、热场结构设计原理与工艺适配逻辑。 熟练使用 SolidWorks/CATIA、公差分析、CAE 仿真,熟悉半导体洁净、真空、超低颗粒、高精度设备设计准则。 具备完整的设备立项–开发–调试–客户验证–量产全流程操盘经验,能够独立解决量产级机械疑难问题。 能力素质:具备平台化架构思维、技术前瞻能力、团队统筹能力、较强的项目推进与跨部门沟通能力,抗压能力强。 优先条件:有头部国产前道设备大厂核心团队经验、成熟量产设备带队经验、先进制程设备开发经验者优先。
其他信息
语言要求:不限
行业要求:电气机械/器材,电子/半导体/集成电路,机械/设备

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