ESC研发工程师(主任) 50-80k·16薪
徐州-邳州 10年以上 本科 招1人 5月29日更新
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王女士 2天前在线 已认证
总监 · 江苏点将人力资源有限公司
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职位介绍
江苏鲁汶仪器招ECS主任研发工程师,base徐州邳州 岗位所需知识与技能 1.熟悉静电卡盘的应用,尤其是在等离子体环境下的防Arcing经验; 2.熟悉静电卡盘的材料,尤其是Al2O3、ALN等材料的特性,金属电极材料特性,Coating材料的特性及其原理; 3.熟悉静电卡盘的制造流程,深度参与分析制造过程中的问题,包括但不限于陶瓷晶粒对lifetime的影响机理,金属电极制造过程中出现的局部变形机制等; 4.熟悉射频等离子体对静电卡盘的影响,针对不同结构的静电卡盘在刻蚀过程中异常结果的分析能力; 5.熟悉热-固-流场仿真,能够基于仿真结果提出静电卡盘的优化方向; 6.熟悉静电卡盘清洗,检测等能力优先; 7.具备机械绘图与仿真能力优先 8.具有半导体行业10年以上经验,尤其是ICP刻蚀领域,熟悉静电卡盘的原理; 需求人员岗位职责 1,针对ICP机台开发适配的静电吸盘 2,对接供应商,优化供应商制造过程中的SPEC,协助完成静电吸盘关键工艺的制造 3,针对CIP需求,优化静电吸盘; 4,培养团队成员的整理设计与应用能力,针对应用过程中出现的问题,给出指导及其原理性分析。 职能类别:半导体器件工程师
其他信息
语言要求:不限
行业要求:电子/半导体/集成电路,仪器仪表

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更新时间:2026-08-14